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자동화 장비

UV 필름 노광기

페이지 정보

작성자 최고관리자 작성일20-08-24 11:33 조회367회 댓글0건

본문

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개요

Master Film을 제작하기 위한 UV 노광 장비
왕복 구동 기능으로 생산성 2배 향상
GUI 방식의 편리한 운용 시스템
DFR Film 정전기 제거용 전용 챔버 설치 (Ion blower 및 습도 조절 기능)
DFR Film 진공 밀착용 Roll Laminator 설치
DFR Film 및 Glass Mask 노광 기능

기능 및 특징

노광 광원 : 2 ㎾ 초고압 수은등
노광 방식 : Scan & Step 방식 (Vacuum Contact 노광)
노광 균일도 : ±2.0% 이내
노광 파장 : ghi-line (Option Filter 가능)
구동 방식 : Linear Motor X-Y stage
Motor Encoder : 1 ㎛
Step 노광 면적 : 100 x 100 mm
Scan 노광 면적 : 1,800 x 1,400 mm (Film type Substrate 기준)
최소 선폭 : 5 ㎛ L/S

 

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