UV 필름 노광기

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작성자 최고관리자 작성일20-08-24 11:33 조회367회 댓글0건

개요	Master Film을 제작하기 위한 UV 노광 장비
	왕복 구동 기능으로 생산성 2배 향상
	GUI 방식의 편리한 운용 시스템
	DFR Film 정전기 제거용 전용 챔버 설치 (Ion blower 및 습도 조절 기능)
	DFR Film 진공 밀착용 Roll Laminator 설치
	DFR Film 및 Glass Mask 노광 기능
기능 및 특징	노광 광원 : 2 ㎾ 초고압 수은등
	노광 방식 : Scan & Step 방식 (Vacuum Contact 노광)
	노광 균일도 : ±2.0% 이내
	노광 파장 : ghi-line (Option Filter 가능)
	구동 방식 : Linear Motor X-Y stage
	Motor Encoder : 1 ㎛
	Step 노광 면적 : 100 x 100 mm
	Scan 노광 면적 : 1,800 x 1,400 mm (Film type Substrate 기준)
	최소 선폭 : 5 ㎛ L/S

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