Halogen Heater

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작성자 최고관리자 작성일20-08-24 11:25 조회291회 댓글0건

히터 종류	Ni-Cr Coil, Bar Type Halogen Lamp, Circular Type Halogen Lamp
기능 및 특징	히팅 온도 : 200~500'C
	온도 제어 : Thermocouple 을 이용한 온도 제어 및 모니터링
	램프 장점 : 1.복사광을 이용한 빠른 승온 속도
	2.순간적인 ON/OFF 가능
	3.진공 중에서도 사용 가능

	적용 사례 : 1.진공 챔버내 웨이퍼 온도 제어
	2.진공 챔버의 베이킹
	3.진공 챔버내 웨이퍼 레벨 솔더링
	4.대기중 기판 예열 및 휨 측정

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